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  • 展会名称:

    2026中国(北京)国际微纳制造产业展览会

  • 主办方: 中国光学工程学会、上海邺闻展览服务有限公司
  • 场馆名称: 北京国家会议中心
  • 举办时间: 2026年06月25-27日
  • 场馆地址: 北京市朝阳区天辰东路7号
  • 国家: 中国
  • 省份:
  • 城市: 北京
  • 所属行业: 智能制造
  • 展会面积: 30000平方米
  • 展品范围: 1、MEMS器件:光学MEMS;射频MEMS;MEMS物理传感器(加速传感器、速率传感器、压力传感器、气体传感器、温度传感器);微射流(微流引导、微感应器等);MEMS执行器;MEMS电能(燃料电池、微发电机等);高复合型MEMS(CMOS/MEMS、LSI/MEMS一体化)。 2、MEMS代工服务:仿真设计、原型测试、产品开发、量产;其他代工服务:图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀等。 3、MEMS应用:超微型机械人装置、微型工厂等;传感器网络;能量收集等。 4、MEMS加工设备:薄膜成形(汽相淀积、溅射、CVD、覆镀;曝光系统、蚀刻技术;防腐处理;刻蚀;晶圆键合;切割;芯片/导线焊接;封装;微成形(注射、热压);其他生产设备。 5、分析与检测仪器:光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统;显微镜:光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪;检漏仪器、静电负离子空气净化机;气体分析及检测、分析和测量系统等。 6、纳米机械微制程技术:超精度纳米机械工艺;超精密加工、微制造;表面微加工;精细钻孔;微观切割;雷射、离子脉冲加工;聚焦离子束系统;微放电加工;超声波设备等。 7、纳米压印技术:微纳米模型;纳米压印生产设等备。 8、生物技术与医疗应用:MEMS在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊;尖端DNA&RNA技术、微反应器、微流引导、生物/化学MEMS(DNA/RNA技术、化学检测)等。
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